リソグラフィー

かつて世界のリソグラフィー市場の40%を支配していたニコンは、2000年代初頭にオランダのASMLにその座を奪われ、現在では市場シェアが7%にまで縮小している。ASMLがEUV技術に大胆な投資を行い、液浸リソグラフィーで先行した一方、ニコン...